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機電一體化的微型化發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢

  1959年,Richard·P·Feynman(1965年諾貝爾物理獎獲得者)就提出了微型機械的設(shè)想。1962年第一個硅微型壓力傳感器問世,其后開發(fā)出尺寸為50~500m的齒輪,齒輪泵,氣動渦輪及連接件等微機械。1965年,斯坦福大學(xué)研制出硅微電極探針,后來又在掃描隧道顯微鏡;微型傳感器方面取得成功。1987年美國加州大學(xué)伯克利分校研制出轉(zhuǎn)子直徑為12~60m的硅微型靜電機,顯示出利用硅微加工工藝制造小而可動結(jié)構(gòu)并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力。

  微型機械是一個新興的、多學(xué)科交叉的高科技領(lǐng)域,面臨許多課題,涉及許多關(guān)鍵技術(shù)。當(dāng)一個系統(tǒng)的特征尺寸達到微米級和納米級時,將會產(chǎn)生許多新的科學(xué)問題。微型機械加工技術(shù)作為微型機械的最關(guān)鍵技術(shù),也必將有一個大的發(fā)展。硅加工、LIGA加工和準(zhǔn)LIGA加工正向著更復(fù)雜、更高深度適合各種要求的材料特性和表面特性的微結(jié)構(gòu)以及制作不同材料特別是功能材料微結(jié)構(gòu),更易于與電路集成的方向發(fā)展,多種加工技術(shù)結(jié)合也是其重要方向。微型機械在設(shè)計方面正向著進行結(jié)構(gòu)和工藝設(shè)計的同時實現(xiàn)器件和系統(tǒng)的特性分析和評價的設(shè)計系統(tǒng)的實現(xiàn)方向發(fā)展,引入虛擬現(xiàn)實技術(shù)。

推薦產(chǎn)品

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數(shù)控龍門高速銑YF-D1615 該款型號高速銑床是本公司對原有機型改造創(chuàng)新升級后推出的第一款主打產(chǎn)品,它結(jié)合了原有的老款數(shù)控銑床的性能特點,更改了有效行程,并不斷的進行創(chuàng)新和改良,才有了這款具有結(jié)構(gòu)合理、穩(wěn)定性強、精度高、剛性強、效率高等眾多優(yōu)勢的產(chǎn)品。該款機型是一帆數(shù)控
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高速雕銑機
高速雕銑機YF-D870 本款型號設(shè)備秉承了傳統(tǒng)機床小刀具加工特點的基礎(chǔ)上,結(jié)合目前模具切削加工的實際情況,采用加重型和增強型的光機,高精密度的線性導(dǎo)軌和滾珠絲桿,再配套大功率的主軸和伺服電機,使之成為既可用于中小批量的精密零件生產(chǎn),更可實現(xiàn)大重型的精密模具加工。其
龍門數(shù)控高速銑
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